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面板式超高纯过滤器

应用行业:半导体工业、液晶面板制造和太阳能等,或者有高纯和超高纯要求的行业. 应用领域: 高纯和超高纯气体、易燃易爆气体、有毒气体等特殊气体管路系统,二次配管,以及其他一些气体设备.

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应用行业:半导体工业、液晶面板制造和太阳能等,或者有高纯和超高纯要求的行业.

应用领域: 高纯和超高纯气体、易燃易爆气体、有毒气体等特殊气体管路系统,二次配管,以及其他一些气体设备.

面板式超高纯过滤器是专门为超高纯半导体制程气体设计的,其过滤精度≥3纳米.

不锈钢SS316L外壳经过电化学抛光处理.

内表面粗糙度≤5uin/0.13umRa.

具有耐高温和耐高压的性能.

生产和包装均在洁净厂房进行,出厂前经过100%氦检漏测试,其标准为10-9 atm?cm3/s

连接方式:W-密封,1 1/8”

最高工作压力: 3.4 MPa @ 100°C / 500 psig @ 212°F

最大可允许压差: 0.69 MPa @ 40°C / 100 psid @ 104°F



 

产品名称:面板式超高纯过滤器

产品编号:SSNPALL00003

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